超精密Micor系列显微线扫相机
产品尺寸:199.1H * 135D * 205Wmm
有效宽度:6,14,28mm
清 晰 度:9600/19200/38400dpi
像素大小:0.66um/1.32um/2.65um
线扫速率:3.57kHz
焦距范围:±0.1mm
工作距离:52.4/70.2mm
数据接口:USB3.0
主要应用:晶圆表面, 太阳能电池板,硅晶片等
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